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EG
ロータリーテーブル
イースタンギアの精密ロータリーテーブルは、ミクロン単位の高精度な回転制御と高いねじり剛性が求められる産業分野に特化したモーションソリューションです。
高い位置繰返し精度と超低振動が要求される精密加工装置、光学検査装置、半導体製造装置、医療用画像機器などの分野で優れた性能を発揮します。
◆ 主な特長
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ミクロン単位の位置制御が可能な高精度回転システム
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高精度ベアリング構造により軸ブレを最小限に抑え、回転安定性を向上
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ダイレクトドライブおよび高感度サーボモーターに対応
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低振動・低騒音設計で光学・医療機器に最適
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高解像度エンコーダ内蔵による精密なフィードバック制御
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クリーンルーム対応設計、サイズのカスタマイズも可能
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多様な設置方向に対応（水平方向・垂直方向・角度調整可能）
◆ 適用事例
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半導体検査装置における精密回転ステージ
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5軸マシニングセンターや高精度CNC機における副回転軸
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医療用画像機器（CT・MRI等）に搭載される回転ユニット
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光学レンズおよび部品のアライメントシステム
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精密レーザーマーキングおよび計測装置
